ITO线路AOI检查机(又叫台阶电极自动检查机、端子划伤自动检查机)主要用于液晶屏线路裸露区域ITO的缺陷检测,提高产线良率和生产厂家的制程控制能力。主要检测线路划伤、短路、断路、微断、异物(脏污)、腐蚀、毛刺等。设备可广泛应用于LCD液晶屏行业、触摸屏行业、光伏行业和LED行业等领域,实现对玻璃基板或柔性基板(PET、CPI等)的ITO线路、银浆线路等的快速检测。
项目 | 性能指标 | |
机台型号 | D3离线系列 / D4在线系列 | |
检测系统 | 检测范围 | 液晶屏尺寸:1.8~40寸,最大1000 x 480mm,适用于异形屏检测 |
检测区域 | 覆盖整个玻璃ITO线路,含Fanout区域线路、CFOG-Pad区域线路等(距离TFT面偏光片边缘15um以外区域) | |
支持线路 | 直线、波浪线、拐角线路、交叉线、亮暗线(对比度差异)、邦定区域方块等检测,并可过滤IC焊盘线路、ACF固化后颜色、线路交叉等导致的误判 | |
检测项目 | 线路划伤、微划伤、短路、断路、微断、异物(脏污)、腐蚀、毛刺等 | |
检测精度 | 最小可检测缺陷尺寸2um×2um | |
漏检率 | 0 DPPM (漏检率:产线漏检数量/拦检刮伤数量) 说明:检测方式为自制Sample重复测试30次。 |
|
过检率 | <5%,且平均误判图片<2张/片 | |
*检测速度 | 7-12 Inch Panel 双台阶≤7sec | |
12-17 Inch Panel 双台阶≤10sec | ||
17-24 Inch Panel 双台阶≤12sec | ||
24-45 Inch Panel 双台阶≤15sec | ||
机台稼动率 | ≥90% | |
换线时间 | 新机种切换时间:<60 分钟 | |
已有机种切换时间:<20 分钟 | ||
光学系统 | 面阵高精度相机 | |
定制同轴光源 | ||
定制高分辨率 4X 或 10X 物镜,以实际需求为准 | ||
定位 | 支持全景定位或 Mark 定位 | |
机电系统 | 钣金框架结构+大理石平台,提升设备的稳定性和平面基准 | |
采用双头直线电机移栽搬运物料,高精度、高速 | ||
检测机构采用高精度直线电机,分辨率 0.1um | ||
采用 DD 马达旋转平台,高精度高刚性 | ||
采用伺服电机+高精度丝杆模组,用于物料读码、视觉定位校准等机构 | ||
采用 SMC 气动、真空系统 | ||
上下料方式 | 卡夹存储模式 | |
Tray 盘存储模式 | ||
CV 传送模式 | ||
料盒传送模式 | ||
面板搬运类型 | CV传送、防静电皮带传送 | |
四轴/六轴机器人搬运 | ||
多轴伺服电机+直线模组架构搬运 | ||
牙叉取放搬运 | ||
翻转 | ||
软件功能 | 自有知识产权的Otek®AOI工业应用检测软件 | |
易用性:直观易用的图形显示界面,智能化的参数设定功能 | ||
人性化,可选的报警功能,且报警功能可定制(比如不良率上限报警功能) | ||
快速切换功能:不同产品可编辑并调用不同的Recipe | ||
数据安全和快速定位:异常图像可100%存图保留:OK 存图+NG 抛料存图;图像可放大缩小并标识AOI拦检的异常位置;异常图片存储时间大于三个月,存储空间至少2T | ||
高级权限设定:具备拦检率调整窗口并设定不同权限 | ||
快速对接客户信息系统接口:可将检测结果数据保存并上抛至CIM系统 | ||
检测算法 | 处理算法 | Otek® AOI检测算法 + AI人工智能复判系统 |
识读码制 | 支持多种Vericode码的读取,对应 Normal Type 、Normal HD Type Vericode、Outline Type Vericode 和 DM Type Vericode | |
其它参数 | 安全防护 | 安全光栅/安全门锁:用于人员安全防护 |
FFU:用于洁净设备内部空间达到千级、百级无尘室 | ||
静电:与产品接触材质均为防静电材质,并配有离子风棒,以消除静电 | ||
电源供应 | AC 220V±10% 50~60Hz | |
接地 | 整机接地任意两点间的电阻<5Ω | |
离子规格 | 作业区域离子消散速度<5sec;离子平衡电压为100V以内 | |
使用环境 | 温度:5~40℃ | |
湿度:25~85%RH(无冷凝) | ||
机台内部温度 | <40℃ | |
正压气源 | 0.5~0.6MPa ,由厂家提供接入端口 | |
负压气源 | -80kpa,由厂家提供接入端口 |
缺陷图片